首先，過(guò)氧化氫滅菌器目標(biāo)環(huán)境的溫度不均勻，可能會(huì)造成滅菌氣體在表面產(chǎn)生凝結(jié)。一般溫度+/-2.5℃是能被接受的范圍。需要注意的是那些環(huán)境中的高溫表面，例如，凍干機(jī)、灌裝機(jī)等設(shè)備的CIP/ SIP功能，會(huì)造成局部表面的高溫，需要待這些位置冷卻（一般低于40℃）才能進(jìn)行過(guò)氧化氫滅菌。另外，高溫會(huì)由于熱輻射改變環(huán)境中氣流的狀態(tài)，使得局部的過(guò)氧汽化氣體無(wú)法到達(dá)這些部位。

其二，若目標(biāo)環(huán)境的初始相對(duì)濕度過(guò)高，環(huán)境能容納和吸收的水分只需很少就能達(dá)到飽和，這就使滅菌過(guò)程越容易產(chǎn)生凝結(jié)，氣態(tài)過(guò)氧化氫濃度會(huì)降低，影響滅菌效果。濕度的均勻性會(huì)受溫度均勻性影響，溫度高的表面相對(duì)局部的濕度也會(huì)偏低一些。

第三，過(guò)氧化氫滅菌器過(guò)氧化氫的用量是滅菌過(guò)程中較為可靠也是較為可控的參數(shù)。因此過(guò)氧化氫的總用量對(duì)于滅菌的效果而言是關(guān)鍵參數(shù)。滅菌區(qū)域體積確定的情況下，過(guò)氧化氫的用量是滅菌效果的重要考量因素。

第四，環(huán)境中過(guò)氧化氫的濃度。在滅菌過(guò)程中，過(guò)氧化氫本身在不斷產(chǎn)生，同時(shí)也在不斷分解。維持過(guò)氧化氫濃度在一定的水平是大多數(shù)滅菌系統(tǒng)廠家的做法，目前大多使用電化學(xué)的過(guò)氧化氫濃度傳感器作為檢測(cè)手段，但作為干法工藝的代表---德國(guó)PEA過(guò)氧化氫滅菌系統(tǒng)采用的是電容式過(guò)氧化氫濃度傳感器，其自動(dòng)加熱功能可以避免過(guò)氧化氫在傳感器表面產(chǎn)生結(jié)露，從而使測(cè)量更，該電容式過(guò)氧化氫傳感器廠家在國(guó)內(nèi)設(shè)有校準(zhǔn)實(shí)驗(yàn)室。但是需要注意的是，空間中的過(guò)氧化氫濃度并不能直接說(shuō)明滅菌效果的好壞。但是作為一個(gè)滅菌循環(huán)的參數(shù)，檢測(cè)其濃度卻是必須的，可以通過(guò)濃度的數(shù)據(jù)分析滅菌循環(huán)中的問(wèn)題。

第五，過(guò)氧化氫滅菌器滅菌維持時(shí)間也是需要考慮的因素，一方面要有一定的時(shí)間讓過(guò)氧化氫氣體擴(kuò)散和接觸，另一方面不同滅菌空間布局，用量不同，維持的時(shí)間長(zhǎng)短也不一樣，這需要在滅菌前進(jìn)行參數(shù)開(kāi)發(fā)。

第六，滅菌區(qū)域里的裝載條件如設(shè)備設(shè)施的位置會(huì)影響過(guò)氧化氫氣體的分布，從而影響滅菌效果，需要在參數(shù)開(kāi)發(fā)時(shí)進(jìn)行考量。

第七，將滅菌氣體傳送到目標(biāo)環(huán)境（如潔凈區(qū)）的方式盡量避免利用長(zhǎng)管路傳送，如果沒(méi)有對(duì)管路進(jìn)行保溫，背景環(huán)境溫度又相對(duì)較低，那么過(guò)氧化氫會(huì)在管道內(nèi)部產(chǎn)生凝結(jié)，傳遞到目標(biāo)環(huán)境中的H2O2就會(huì)相對(duì)降低。

總之，過(guò)氧化氫滅菌器滅菌效果是目標(biāo)環(huán)境溫濕度條件、過(guò)氧化氫溶液用量、過(guò)氧化氫氣化狀態(tài)及濃度、滅菌時(shí)間、裝載條件、過(guò)氧化氫傳送方式等綜合的影響結(jié)果。判斷是否達(dá)到滅菌效果的標(biāo)準(zhǔn)是生物指示劑：嗜熱脂肪芽孢桿菌ATCC 12980或ATCC 7953（數(shù)量級(jí)≥1.0×106），培養(yǎng)箱[55℃-60℃]，培養(yǎng)7天，結(jié)果無(wú)微生物生長(zhǎng)證明達(dá)到6log滅菌效果。